반도체 장비 ASML, 화성에 재제조센터 착공…2025년 가동

[이데일리 김형욱 기자] 세계 1위 반도체 노광장비 제조기업인 네덜란드 ASML이 16일 경기도 화성시에 재제조(remanufacturing) 센터와 트레이닝 센터를 포함한 뉴 캠퍼스를 착공했다.

네덜란드 반도체 장비기업 ASML이 독점 생산하는 극자외선(EUV) 노광장비 외관.(사진=산업통상자원부)

산업통상자원부에 따르면 ASML은 이날 이곳 착공식을 열고 본격적인 건설에 착수했다. 착공식에는 피터 베닝크(Peter Wennink) ASML 최고경영자(CEO)와 문동민 산업부 무역투자실장, 김동연 경기도지사, 정명근 화성지사, 이원욱 더불어민주당 국회의원(화성을), 수요기업 관계자 등 160여명이 참석했다.

ASML은 최첨단 반도체 미세공정의 핵심인 극자외선(EUV) 노광장비를 사실상 독점 생산하는 세계 최대 반도체 장비 기업이다. 노광장비란 웨이퍼에 설계한 회로 패턴을 그리는 장비다. 광원 파장이 짧을수록 더 미세한 공정이 가능하다. 삼성전자나 SK하이닉스 같은 최첨단 반도체 생산기업에는 꼭 필요한 파트너인 셈이다.

ASML은 지난 2020년부터 관련 계획 검토에 착수해 지난해 11월 2025년까지 총 2400억원을 들여 이곳에 1만6000㎡ 규모 뉴 캠퍼스를 짓는 계획을 확정했다. 산업부와 경기도도 이에 필요한 규제 개선을 지원했다.

이곳에는 심자외선(DUV)·국자외선(EUV) 노광장비와 관련 부품을 재제조하는 시설, 그리고 첨단 기술 교육을 위한 트레이닝 센터, 체험관 등이 들어선다. 재제조란 수명이 다한 부품을 분해, 세척, 검사, 수리 후 조립해 신제품과 비슷한 수준으로 다시 만드는 것이다. 비용 부담을 줄이면서도 자원을 절약하는 효과가 있어 국내외에서 확대되는 추세다.

산업부는 특히 ASML을 비롯해 어플라이드 머티리얼즈(ASML)과 램리서치, 도쿄일렉트론(TEL)등 세계 반도체 장비 상위 4대 기업이 차례로 국내 연구개발(R&D) 센터를 신·증설키로 한 데 의미를 부여했다. 실제 이들 기업의 국내 투자 확대는 국내 반도체 핵심 소재·부품·장비 공급망 안정화에 도움을 줄 수 있다.

문동민 실장은 “산업부는 앞으로도 외국인 투자 환경 개선을 통해 첨단기업 투자유치 노력을 이어가겠다”며 “ASML과도 후속 투자 유치를 위해 협력 채널을 유지하고 필요한 지원에 나설 것”이라고 말했다.