[이데일리 윤종성 기자] 문승욱 산업통상자원부 장관이 28일 충북 보은에 위치한 특수가스 전문 소재기업인 TEMC를 방문해 러시아-우크라이나 사태가 원자재 수급 등 산업 현장에 미치는 영향을 점검했다. 이번 방문은 반도체 제조공정에 필요한 희귀가스인 네온·크립톤·제논(크세논)의 수급 동향을 논의하기 위해서다.
네온은 반도체 제조공정 중 노광공정에, 크립톤·제논(크세논)은 식각공정에 주로 사용된다. 가스별 수입액 중 우크라이나와 러시아산 비중(2021년 기준)은 △네온 28%(우크라이나 23%, 러시아 5%) △크립톤 48%(우크라이나 31%, 러시아 17%) △제논 49%(우크라이나 18%, 러시아 31%) 등이다.
유원양 TEMC 대표는 “포스코와 협력해 올해 초 네온 가스의 국산화 설비·기술 개발에 성공했다”며 “올해 하반기부터는 국산 네온가스를 반도체 소자업체에 본격적으로 공급할 수 있을 것”이라고 말했다.
 | | 유원양 TEMC 대표(왼쪽)가 문승욱 산업통상자원부 장관(가운데)에게 설비현황 및 시설 등에 대해 설명하고 있다 |
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 | | 문승욱 산업통상자원부 장관(오른쪽)이 유원양 TEMC 대와 함께 시설을 둘러보고 있다 |
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