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X-ray(CT) 비파괴검사장비 전문기업 이노메트리(대표 이갑수)는 유리가공 전문기업 JWMT(舊 중우엠텍)와 금속 표면처리 소재 기업 익스톨에 TGV(Through Glass Via)용 검사장비를 공급했다. JWMT는 삼성전자가 삼성벤처투자를 통해 지분을 확보한 곳으로 레이저 기반 유리가공(LMCE) 기술을 보유하고 있으며, 익스톨은 삼성전기가 투자한 곳으로 TGV 도금 공정의 공급사로 부상하고 있다. 유리기판 공정의 앞단을 맡는 두 협력사에 검사장비가 들어가면서 이노메트리는 차세대 반도체 유리기판 검사 시장 선점을 위한 기반을 다지게 됐다.
이노메트리의 X-ray(CT) 장비는 머리카락보다 가는 TGV 홀 내부의 미도금·미충진·기공 등 미세결함을 마이크로미터 단위로 검출한다. 유리 특성상 가공 중 미세크랙 발생률이 높아 비파괴 검사는 유리기판 수율 확보의 핵심 공정으로 떠오르고 있다.
공급처는 계속 늘고 있다. 회사는 올해 세 번째 공급처인 애니캐스팅에 이어 유리가공·도금·화학소재 등 TGV 밸류체인 내 다수 기업과 추가 공급을 논의 중이다. 기술 개발도 병행한다. 산업부 ‘AI 기반 TGV 검사 시스템 개발’ 국책과제 2단계 수행기관으로 선정됐고, 영국 UCL과 미세크랙 검출 기술을 공동 개발하고 있다.
이갑수 대표는 “유리기판은 미세회로를 안정적으로 구현하는 것이 핵심인 만큼 불량 검출과 관리가 특히 중요하다”며 “유리기판 상용화 흐름에 맞춰 검사 솔루션 정밀도를 고도화하고, 2026년을 유리기판 사업이 실질적 성장동력으로 자리 잡는 전환점으로 만들겠다”고 밝힌 바 있다.
<마켓잉크 김건우 기자>
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