예스티, 세계 첫 125매 고압어닐링장비 출하…글로벌 공략 속도

[이데일리 안소현 기자] 반도체 장비 전문기업 예스티가 독자 개발한 125매 챔버가 탑재된 고압어닐링장비(HPA)를 글로벌 반도체 기업에 세계 최초로 출하하며 글로벌 시장 공략에 속도를 낸다.

3일 예스티가 지난해 말 수주한 125매 고압어닐링장비를 출하한 것을 축하하고 있다. (사진=예스티)

예스티는 지난해 말 수주한 125매 고압어닐링장비를 출하해 글로벌 고객사 생산라인(Fab)에 공급했다고 3일 밝혔다. 해당 장비는 고객사에서 설치와 셋업 과정을 거쳐 차세대 반도체 제품 개발 및 양산 공정에 활용될 예정이다.

이번 출하는 올해 3월 글로벌 반도체 기업에 75매 고압어닐링장비를 공급한 데 이은 것으로, 예스티는 세계 최초로 125매 장비까지 라인업을 확대하며 기술 경쟁력을 입증했다.

회사는 현재 글로벌 반도체 기업들을 대상으로 D램과 낸드플래시 등 메모리 공정용 고압어닐링장비의 평가와 공급 절차를 진행하고 있다. 이번 125매 장비 출하를 계기로 메모리와 파운드리 전반을 아우르는 고객 기반을 확대한다는 계획이다.

예스티는 2020년부터 자체 보유한 정밀 열·압력 제어 기술을 바탕으로 고압어닐링장비를 개발해 왔다. 기존 장비 대비 높은 생산성과 성능을 앞세워 특정 업체가 주도해온 고압어닐링 시장에서 경쟁력을 확보한다는 전략이다.

회사 측은 이번 공급을 계기로 내년부터 관련 매출이 본격적으로 실적에 반영될 것으로 기대했다. 예스티 관계자는 “125매 장비 공급을 시작으로 올해부터 고압어닐링장비 매출이 회사 실적에 본격적으로 실적에 반영될 것”이라며 “여러 글로벌 고객사와 다양한 공정 적용을 위한 논의를 긴밀하게 진행 중”이라고 말했다.

예스티는 차세대 장비인 고압산화공정장비(HPO) 상용화에도 속도를 내고 있다. 회사는 시제품(알파기)을 통해 공정 조건을 확보한 데 이어 국책과제를 통해 양산 장비 개발을 완료했으며, 현재 글로벌 고객사들과 평가를 진행 중이라고 설명했다.