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ASM은 반도체 제조공정 중 증착 공정(웨이퍼가 전기적 특성을 갖도록 다양한 물질의 박막을 입히는 과정)에 활용하는 장비를 주로 생산한다.
지난 1989년 국내로 사업을 넓힌 ASM은 2019년 경기도 화성 동탄에 제조연구혁신센터인 화성캠퍼스를 설립해 플라스마 원자층증착(PEALD) 기술과 장비를 개발·생산했다.
ASM은 2025년 완공을 목표로 화성캠퍼스 내 제2제조연구혁신센터를 새로 지어 생산 능력을 확장한다는 계획이다. 지난 2월 산업통상자원부와 1억달러 규모의 투자 업무협약(MOU)을 체결한 데 따른 것이다.
ASM의 기존 시설은 약 2만㎡ 규모다. 제2제조연구혁신센터 완공시 기존 시설 대비 R&D 면적은 2배, 생산 면적은 3배로 늘어난다. 시설 확장에 따라 현재 460여명 이상의 직원 숫자도 점차 늘어날 예정이다. 신규 시설의 기공식은 오는 24일 열린다.
ASM의 한국지사 에이에스엠케이의 김용길 회장은 “화성 제2제조연구혁신센터는 빠르게 늘어나는 국내 직원 규모를 수용하는 시설을 갖추고, 동시에 첨단 반도체의 글로벌 수요에 대응하는 한국의 역할을 반영하는 투자”라고 설명했다.
벤자민 로 ASM CEO는 “이번 투자는 단순히 시설을 확장하는 것 이상의 의미가 있다”며 “한국에서 지속적으로 첨단 기술을 개발하고 세계적 수준의 반도체 혁신을 이끌 수 있도록 계속해서 지원할 것”이라고 말했다.