예스티, '특허 분쟁' 경쟁사에 특허 무효심판 청구

[이데일리 이용성 기자] 반도체 장비 전문기업 예스티는 고압 어닐링 장비 특허 분쟁과 관련 경쟁사의 특허에 대해 무효심판을 청구했다고 22일 밝혔다.

(사진=예스티)

앞서 예스티는 지난 9월 국내 한 반도체 장비기업으로부터 특허 소송이 제기됐다고 전했다. 고압 어닐링 장비가 자사의 특허를 침해했다는 취지다. 예스티는 해당 특허소송 진행과 관련해 상세한 의견서를 통해 침해가 아니라는 점을 적극적으로 소명하고 있다. 예스티는 지난 2021년부터 자체 압력 및 열 제어 기술을 기반으로 고압 어닐링 장비를 개발해 온 것으로 알려졌다.

예스티 관계자는 “특허 소송 대응과 별도로 무효심판 청구를 통해 이번 특허 분쟁의 기초가 되는 경쟁사의 특허권을 원천적으로 무효화시킬 것”이라며 “일반적으로 특허 소송은 판결까지 오랜 시간이 걸리지만, 이번 무효심판은 신속심판 대상으로 무효심판에서 승소할 경우 조속한 분쟁종결이 가능할 것으로 본다”라고 말했다.

이어 “소송이 진행 중이기 때문에 기술적인 사항을 자세히 이야기할 수는 없지만, 예스티는 이러한 분쟁을 예상하고 고압 어닐링 장비 개발 초기부터 특허 문제에 대비해 왔다”라며 “다수의 외부 특허 및 법률 자문기관을 통해 특허 사항을 충분히 검증한 만큼 특허 분쟁에서 승소를 자신하고 있다”고 강조했다.