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최근 삼성전자 자회사이자 국내 최대 반도체 장비기업인 세메스는 기흥미래도시첨단산업단지에 R&D센터를 마련한다. 오는 2026년까지 약 2556억원을 투자해 20층 규모로 기술 개발센터를 건축할 계획이다.
해당 지방산업단지는 지난 4월17일 제3회 경기도 지방산단계획 심의와 5월29일 제1회 경기도 지방산단계획 소위원회 심의를 각각 조건부로 통과한 데 따른 것이다. 앞서 세메스는 투자의향서를 통해 기흥미래도시첨단산단 조성으로 약 4200명 상당의 고용 창출 효과와 1조6500억원 내외의 경제적 파급효과가 발생할 것이라고 밝힌 바 있다. 세메스는 반도체 공정에 필수인 세정·검사·이송 등 다양한 반도체 관련 장비들을 생산한다.
일본 1위 장비업체인 도쿄일렉트론(TEL)의 한국법인인 도쿄일렉트론 코리아도 용인에 R&D센터를 지을 계획을 내놨다. 도쿄일렉트론코리아가 입주할 원삼일반산단 규모는 10만8919㎡로 인근에 용인 반도체 클러스터가 조성됨에 따라 반도체 장비업체인 에스티아이와 반도체 소자업체인 나녹스 등이 이곳에 입주했다.
도쿄일렉트론과 어플라이드머터리얼즈, ASML과 함께 글로벌 반도체 장비업체로 꼽히는 램리서치는 본사를 용인으로 옮긴다. 앞서 램리서치는 지난 2022년 지곡 산단에 R&D 센터를 구축한 데 이어 올 하반기 한국 본사를 판교에서 지곡 산단으로 옮길 예정이다.
이같이 주력 장비업체들이 용인에 둥지를 트는 만큼 다수 소부장 기업의 이전도 예상되고 있다. 반도체업계의 한 관계자는 “생산과 R&D 업무뿐 아니라 주요 장비 생산 관련 업무도 국내에서 더욱 개발돼야 반도체 생태계 조성은 물론 인재양성에도 도움이 될 것”이라고 했다.
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